C02激光器是一种波长为10.6nm的气体激光器，它以C02气体作为工作物质。将C02气体和其它辅助气体 充入放电管，当在电极上加高压时放电管中产生辉光放电，使气体分子释放出激光。将释放的激光能量放大 后，行成激光束。通过电脑控制振镜改变激光束光路并使激光束聚焦而实现高速雕刻打标。
